一、核心標準：ISO 14644-1
ISO 14644-1是當前全球公認的潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境分級的標準。它根據單位體積空氣中懸浮顆粒物的濃度來(lái)劃分等級。
ISO 5級（百級）的核心指標：
≥0.5μm的顆粒物：每立方米空氣中不得超過(guò) 3,520 個(gè)。
≥5μm的顆粒物：每立方米空氣中不得超過(guò) 29 個(gè)。
注意：這只是最高濃度限值，實(shí)際確認需要通過(guò)以下測量程序。
二、確定潔凈等級的步驟與方法
確定一個(gè)潔凈室是否達到ISO 5級（百級），必須通過(guò)第三方權威認證機構或內部經(jīng)過(guò)培訓的專(zhuān)家，在潔凈室處于“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行測試。（“動(dòng)態(tài)”測試用于驗證運行時(shí)的持續合規性，但等級認定通常在“靜態(tài)”或“空態(tài)”下進(jìn)行）。
第一步：測試前的準備（“空態(tài)”或“靜態(tài)”）
空態(tài)：潔凈室設施已完全建成，所有設備已安裝到位，但室內沒(méi)有生產(chǎn)設備和人員。
靜態(tài)：生產(chǎn)設備已安裝完畢并可運行，但室內沒(méi)有操作人員。這是最常用的認證狀態(tài)。
第二步：執行粒子濃度測試
這是確定等級最直接的證據。
選擇采樣點(diǎn)：
根據ISO標準，采樣點(diǎn)的數量取決于潔凈室的面積。公式為：
N_L = √A，其中A是潔凈室的面積（平方米）。最少需要2個(gè)采樣點(diǎn)。采樣點(diǎn)應均勻分布在潔凈室的整個(gè)工作區域。
確定采樣量：
對于ISO 5級，每次采樣必須采集足夠量的空氣，以確保統計顯著(zhù)性。標準規定每個(gè)采樣點(diǎn)每次至少采集 1立方米 的空氣（即1立方米）。通常使用激光粒子計數器進(jìn)行采樣。
進(jìn)行采樣：
將粒子計數器放置在各個(gè)采樣點(diǎn)，在離地面0.8-1.2米的高度（模擬工作高度）進(jìn)行采樣。
測量空氣中≥0.5μm和≥5.0μm的粒子濃度。
數據分析與判定：
將所有采樣點(diǎn)的粒子濃度數據記錄下來(lái)。
計算每個(gè)采樣點(diǎn)的平均值，以及所有采樣點(diǎn)的總平均值。
判定標準：所有采樣點(diǎn)的粒子濃度都必須低于或等于ISO 5級規定的濃度限值（≥0.5μm: 3,520個(gè)/立方米；≥5μm: 29個(gè)/立方米）。
三、百級潔凈室的特殊性與其他關(guān)鍵測試
對于ISO 5級（百級）這樣的高級別潔凈室，它通常是單向流潔凈室（以前稱(chēng)為“層流潔凈室”）。這意味著(zhù)除了粒子計數，還必須滿(mǎn)足以下關(guān)鍵條件：
氣流速度與均勻性測試：
核心要求：工作截面的平均風(fēng)速必須均勻且穩定，通常要求保持在 0.36 - 0.54 米/秒（例如，0.45 m/s ±20%是一個(gè)常見(jiàn)規范）。
測試方法：在高效過(guò)濾器（HEPA/ULPA）下方的整個(gè)工作面上，用風(fēng)速儀測量多個(gè)點(diǎn)的風(fēng)速，確保其均勻且符合設計要求。
氣流流型測試：
核心要求：驗證氣流是平行的、單向的，沒(méi)有大的渦流，能有效將粒子帶走。
測試方法：通過(guò)釋放可見(jiàn)煙霧，并用攝像機記錄其流動(dòng)軌跡，觀(guān)察氣流是否能平行、勻速地向下流動(dòng)。
過(guò)濾器檢漏測試：
核心要求：確保高效過(guò)濾器及其邊框沒(méi)有泄漏，否則無(wú)法保證送入空氣的潔凈度。
測試方法：在過(guò)濾器上游散發(fā)氣溶膠（如PAO、DOP等），在下游用掃描儀掃描過(guò)濾器的整個(gè)面和邊框，任何點(diǎn)的泄漏率不得超過(guò)0.01%。
壓差測試：
核心要求：潔凈室必須對相鄰低級別區域保持正壓，以防止污染空氣侵入。通常壓差在 10-15 Pa 之間。
測試方法：使用微壓差計測量潔凈室與相鄰區域的壓力差。
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